一、什么是引線鍵合推拉力測試?
引線鍵合推拉力測試是評估半導體封裝中鍵合點可靠性的關(guān)鍵手段,主要用于量化鍵合界面的機械強度,確保器件在后道工藝及使用過程中不發(fā)生斷裂或脫焊。
二、 引線鍵合推拉力測試類型
拉力測試:用于評估鍵合線的拉伸強度及斷裂位置。測試時,通過微型鉤爪垂直拉伸鍵合線,記錄斷裂時的力值并觀察斷裂點(如線頸、根部或焊點界面)。
推力測試(剪切力測試):用于評估鍵合球與芯片焊盤的結(jié)合強度。測試時,使用推刀水平推動鍵合球,記錄剪切力峰值,判斷界面結(jié)合質(zhì)量。
三、主要行業(yè)標準
1. JEDEC JESD22-B116
適用范圍:適用于金線、銅線的剪切力測試和拉力測試。
關(guān)鍵要求:規(guī)定最小鍵合強度,金線≥3 gf/mil,銅線≥4–5 gf/mil(視線徑而定);測試速度建議為100–500 μm/s,以避免動態(tài)沖擊影響數(shù)據(jù)準確性。
2. MIL-STD-883 Method 2011.7
適用范圍:junyong及高可靠性微電子器件的鍵合強度測試。
關(guān)鍵要求:強調(diào)可靠性驗證,要求高溫老化(如125℃/1000小時)后,鍵合強度衰減率不得超過15%。
3. SEMI G86
適用范圍:針對xianjin封裝,如微間距鍵合(<50 μm)和低弧度鍵合。
關(guān)鍵要求:引入非破壞性測試方法,以減少對微小、密集焊點的樣品損耗。
四、測試方法與失效模式
測試方式 | 操作方法 | 典型失效模式 |
剪切力測試
| 使用鎢鋼探針(直徑50–200 μm)水平推動鍵合球,傳感器分辨率可達0.001 gf | 脫焊:鍵合球與焊盤wanquan分離,表明界面結(jié)合不良。
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焊盤剝離:焊盤下方金屬層斷裂,通常與材料脆性或鍵合參數(shù)過強有關(guān)。
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拉力測試
| 采用微型鉤爪垂直拉伸鍵合線,鉤針位置通常位于線弧zuigao點,支持動態(tài)力-位移曲線分析。 | 線頸斷裂:斷裂點位于鍵合球上方,通常與線材強度或鍵合頸部損傷相關(guān),屬正常斷裂模式。 |
根部斷裂:斷裂發(fā)生在鍵合點根部,多因鍵合劈刀磨損或弧度控制不當導致。
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焊點剝離:diyi焊點或第二焊點與基板分離,屬異常失效模式,表明鍵合工藝存在問題。
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五、拉力與推力標準值
根據(jù)MIL-STD-883G、JEDEC及行業(yè)通用標準,不同材料與線徑的鍵合強度要求如下:
拉力標準值
| 金線(MIL-STD-883G) | 1 mil(25.4 μm):≥ 5 gf 1.2 mil(30.5 μm):≥ 8 gf
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銅線(JEDEC JESD22-B116) | ≥ 4–5 gf/mil(視線徑而定) | |
鋁線(行業(yè)通用) | 1.0 mil 鋁線 ≥ 2 gf | |
推力/剪切力標準值 | 焊球剪切強度(行業(yè)通用) | ≥ 6 gf/mil2 |
金球推力判定 | 合格(PASS):金球完整剝離,或剝離后帶少量金屬殘留 | |
不合格(FAIL):基板出現(xiàn)彈坑、推刀接觸芯片表面、金屬層脫落或金球部分剝離 | ||
芯片推力(MIL-STD-883G) | 最小推力(gf)= 0.8 × 芯片面積(mil2) |
六、引線鍵合的推拉力計算方法
引線鍵合的推拉力并非通過單一數(shù)學公式計算得出,而是基于行業(yè)標準與經(jīng)驗數(shù)據(jù)進行判定。常見的計算依據(jù)包括:
1. 基于線徑的經(jīng)驗判定(拉力):直接參照標準(如MIL-STD-883G)中針對不同線徑規(guī)定的最小拉力值。測試時,實測拉力值須大于或等于該標準值。
2. 基于芯片面積的經(jīng)驗公式(推力):MIL-STD-883G 提供芯片推力最小要求,即最小推力 = 0.8 × 芯片面積(mil2)。
3. 基于焊球面積的經(jīng)驗判定(剪切力):要求焊球剪切強度 ≥ 6 gf/mil2,實測剪切力需滿足此單位面積強度要求。
七、影響鍵合強度的因素與封裝差異
實際測試中,鍵合強度受多種因素影響,且不同封裝類型的關(guān)注點各異:
關(guān)鍵影響因素 | 工藝參數(shù):超聲能量、鍵合壓力、溫度、鍵合時間 |
材料屬性:鍵合線(金、銅、鋁)的硬度、延展性、表面狀態(tài) | |
焊盤/基板質(zhì)量:金屬化層的厚度、成分、表面清潔度 | |
封裝類型差異 | 傳統(tǒng)封裝(SIP、DIP、QFP):主要關(guān)注引線鍵合的拉力強度,確保引線在模塑、測試和使用過程中不斷裂 |
xianjin封裝(微間距鍵合 <50 μm):除基本強度外,更側(cè)重剪切力測試與非破壞性測試,以保護微小、密集的焊點 | |
功率器件封裝:使用更粗的鍵合線(如鋁線或銅帶),推拉力標準更高,以承受大電流和熱應力沖擊 |
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